1、前言

        在半導體行業芯片技藝和模塊化集成運放工藝設備中，面料、晶圓、集成電路芯片的測驗是必不宜少的方式。不斷地半導體行業芯片技藝測驗技藝的成長 ，阿拉伯數碼源表SMU隨著測驗測驗檢測器臺的系統的組合就已經被大范圍用于面料/細微電子元器的電學基本性檢驗中。阿拉伯數碼源表SMU滿足源測基本功能，會產生電流大小-的電壓(I-V)基本性曲線圖，是半導體行業芯片技藝面料、電子元器電特性定量分析精確測量的價值體系；測驗測驗檢測器臺有清理、半全智能式和全全智能式三大，隨著測驗需選購配套工程的貨品即刻。在備選時要注意力測驗測驗檢測器的面料甚至針尖的截面積與形狀圖片，測驗測驗檢測器面料不一，其阻抗匹配從來不相同之處；凡此種種，測驗測驗檢測器尖受到磨損和環境破壞也會對測驗結果顯示引起會影響。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、探頭、DUT相連表示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        考試探針臺與源表的連結常見的有二者，的運行同水平線連結，另的運行三同水平線連結。當測量方法小交流電(nA、pA)時，應運行三同軸呼叫轉移輸出模塊和三同水平線纜。在接通源表保障的考試電路板中，由三同軸的保障層與內芯范圍內是等電勢差，不會出漏交流電產生，才可以挺高小交流電考試可靠性強，精密度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣性；3內屏弊層；4中心層；5外屏弊層；6外護線套）

圖：三同中線纜等效電線圖

  上圖所顯示為三同水平纜線等效電線圖，輸入輸出中高檔HI和Guard當中的電位差差基本上為0，而避免纜線產品的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S國產整流源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸相連器與普遍兩芯相連器有了區別，可另外接駁移動電磁波燈、與地面和屏幕掉層，屏幕掉實際效果非常的好。和多芯電線電纜好于，三同軸電線電纜架構簡單化，能信高；和兩芯同軸電線電纜好于，還具有更快的屏幕掉性能方面和小移動電磁波燈的傳遞專業能力。三同軸電線電纜的相連的方法實用了GUARD移動電磁波燈，達到了屏幕掉目的，更極為有利的于小移動電磁波燈的在測量。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

應用杜邦線轉BNC母頭采取進行連接；

- 三同軸連接 -

使用的三同軸轉移引擎進行接入。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

之間在使用三同水平線對其進行聯系；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將一般的的三同軸變更為超高壓專業級三同中軸線；高壓力低壓三同軸插頭的耐沖擊能力素質很強，普賽斯選用的高壓力低壓三同軸插頭還可以耐沖擊3500V。

圖：左-高電壓三同軸、右-常見三同軸

HCPL 100大電流源表

大直流電壓校正時，單根檢測器準許的直流電壓有效，直流電壓過大會會使得燒針毛細現象，應響檢驗然而，因需用安全使用多檢測器串聯。

圖：多探頭串并聯舉手

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面工業連入關心

圖：異面探針接連構造

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。